Simco 思美高 除静电器 NO.4214 采用超低粒子 源头报价

在线N2除静电器型号4214

产品信息

4214型除静电器即使在高纯度N2环境下，也支持“扩展iso class 1，10 nm”的高清洁度，且实现了优异的离子平衡。

特长

■采用超低粒子对应单晶硅电极。

■通过独特的不将粒子释放到外部的清洁机构，确保长期稳定的清洁度

■采用完全不需要调整的智能控制电路

■通过内置传感器始终监视离子的产生，实现可靠的除电

■控制器、电源内置的一体式紧凑设计

■低流量时自动高电压关机功能可保护产品

■最适合尖端半导体制造工序等超低粒子用途

■24v直流驱动

规格

输入电压 24V DC+/-5% 6W Typ。

离子平衡 <+/-25V 150mm 距離 40LPM 配管接続無し

静电消除时间 <10sec 150mm 距離 40LPM 配管接続無し

+/-1kv → +/- 100v带电板显示器显示

离子发生方式 冠状病毒放电式高频交流方式

清洁度 iso class 1，0.1微处理器

"扩展iso class 1，10纳米" *

电极 可更换单晶硅

对应吹扫气体 N2 > 99.998%

流量 40LPM(36.5Kpa )~90LPM(171kpa )

最大净化压力 207Kpa(=100LPM流量)

最大气体温度 60度c

N2清除连接 Swagelok3/8" OD管道

离子化N2连接 1/4NPT内螺纹连接器或可选接头

通过28-25710-SC连接Swagelok1/2"OD配管

使用温度范围 15~60度c

信号输出 通过Open/Close触点进行报警及离子降低输出

尺寸 长152.4mm x宽72.4mm x深32mm

不含配管部

重量 640克

外包装 不锈钢

安装方法 背面M5螺纹长度小于10mm

关于增强的iso class 1，10纳米

这是为了应对微小粒子管理而在ION Systems中独自规定的清洁度的定义。 ISO14644-1被定义为最小粒径100nm。 扩展iso class 1，10nm采用与ISO14644-1相同的允许粒子数的计算公式，其允许粒子数在10 nm以上的粒径下为1200pc/m3(34 pc/ft3 )